குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் சிலிக்கான் நைட்ரைடின் பயன் என்ன?

சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si3N4)அதன் தனித்துவமான மின்சாரம், வெப்பம் மற்றும் இயந்திர பண்புகள் காரணமாக குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு கலவை ஆகும். குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தில் சிலிக்கான் நைட்ரைட்டின் சில முக்கிய பயன்பாடுகள் இங்கே:

1. கேட் இன்சுலேட்டர்:சிலிக்கான் நைட்ரைடுஉலோக-ஆக்சைடு-குறைக்கடத்தி (எம்ஓஎஸ்) சாதனங்களில் கேட் இன்சுலேட்டர் பொருளாக அடிக்கடி பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது மெட்டல் கேட் எலக்ட்ரோடு மற்றும் அடிப்படை சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையில் ஒரு மின்கடத்தா அடுக்காக செயல்படுகிறது, இது மின்சார தனிமைப்படுத்தலை வழங்குகிறது. சிலிக்கான் நைட்ரைடு உயர் மின்கடத்தா மாறிலி (உறவினர் அனுமதி) மற்றும் மின்சார ஓட்டத்தை திறம்பட தடுக்கிறது. அதன் சிறந்த இன்சுலேடிங் பண்புகள் சாதனத்தில் உள்ள சார்ஜ் ஓட்டத்தின் மீது கட்டுப்பாட்டை பராமரிக்க உதவுகிறது.

2. செயலற்ற தன்மை: சிலிக்கான் நைட்ரைடு பெரும்பாலும் செமிகண்டக்டர்களில் செயலற்ற சாதன அமைப்பை வெளிப்புற அசுத்தங்கள், ஈரப்பதம் மற்றும் உடல் சேதத்திலிருந்து பாதுகாக்க ஒரு செயலற்ற அடுக்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுப்பதன் மூலம், மின்னோட்டக் கசிவைக் குறைப்பதன் மூலமும், அயன் இடம்பெயர்வுக்கு எதிரான பாதுகாப்புத் தடையை வழங்குவதன் மூலமும் சாதனத்தின் நீண்டகால நம்பகத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்த இது உதவுகிறது.

3. பரவல் தடை: சிலிக்கான் நைட்ரைடு, அண்டை அடுக்குகளிலிருந்து டோபண்டுகள் அல்லது அசுத்தங்கள் விரும்பத்தகாத பரவலைத் தடுக்க ஒரு தடுப்பு அடுக்காக செயல்படும். ஒரு குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் வெவ்வேறு பகுதிகளை தனிமைப்படுத்தவும், தேவையற்ற தொடர்புகளைத் தடுக்கவும் மற்றும் சரியான செயல்பாட்டை உறுதிப்படுத்தவும் இது பயன்படுத்தப்படலாம்.

4. எட்ச் மாஸ்க்: சிலிக்கான் நைட்ரைடு பொதுவாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் பல எட்சான்ட்களுக்கு எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது. சிக்கலான சாதன கட்டமைப்புகளை உருவாக்க அல்லது அடுத்தடுத்த செயலாக்க படிகளுக்கான வடிவங்களை வரையறுக்க இது வடிவமைத்து தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பொறிக்கப்படலாம். அதன் எட்ச் எதிர்ப்பானது, பல்வேறு லித்தோகிராபி மற்றும் செதுக்கல் செயல்முறைகளில் எட்ச் மாஸ்க் அல்லது கடினமான முகமூடியாகப் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்ற பொருளாக அமைகிறது.

5. MEMS மற்றும் சென்சார்கள்: சிலிக்கான் நைட்ரைடு மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ் (MEMS) மற்றும் சென்சார் பயன்பாடுகளில் விரிவான பயன்பாட்டைக் காண்கிறது. அதிக கடினத்தன்மை, வலிமை மற்றும் அணிய எதிர்ப்பு உள்ளிட்ட அதன் சிறந்த இயந்திர பண்புகள், மைக்ரோசென்சர்கள் மற்றும் மைக்ரோஆக்சுவேட்டர்களில் கட்டமைப்புப் பொருளாகப் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

ஒட்டுமொத்த,சிலிக்கான் நைட்ரைடுகுறைக்கடத்தி சாதனங்களின் வடிவமைப்பு, புனையமைப்பு மற்றும் செயல்திறனில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, அவற்றின் மின்சார தனிமைப்படுத்தல், பாதுகாப்பு மற்றும் சாதன பண்புகளை மேம்படுத்துவதற்கு பங்களிக்கிறது. அதன் பண்புகள் குறைக்கடத்தித் தொழிலில் பல்துறை மற்றும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் பொருளாக அமைகிறது.